基板处理装置及基板处理方法

摘要

在将基板搬运到曝光装置时，使用介面用搬运机构之上侧之手臂，在将基板从曝光装置搬出时，使用介面用搬运机构之下侧之手臂。在将被曝光装置曝光处理后之基板搬运到乾燥处理部时，使用第5机器人之下侧之手臂，在搬运从乾燥处理部搬出之乾燥处理后之基板时，使用第5机器人之上侧之手臂。亦即，在未附着有液体之基板之搬运时，使用上侧之手臂，在附着有液体之基板之搬运时，使用下侧之手臂。