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发明名称
储存电容器及制造储存电容器之方法
摘要
本发明揭露一种适用于DRAM胞元的储存电容器、以及用于制造此一储存电容器的方法;该储存电容器是形成为至少部分在一半导体基板表面上。本发明亦包括一种使用该储存电容器的记忆阵列。
申请公布号
TW200627650
申请公布日期
2006.08.01
申请号
TW094141582
申请日期
2005.11.25
申请人
亿恒科技股份公司
发明人
罗尔夫 魏斯
分类号
H01L29/92;H01L21/8242
主分类号
H01L29/92
代理机构
代理人
蔡清福
主权项
地址
德国
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