发明名称 储存电容器及制造储存电容器之方法
摘要 本发明揭露一种适用于DRAM胞元的储存电容器、以及用于制造此一储存电容器的方法;该储存电容器是形成为至少部分在一半导体基板表面上。本发明亦包括一种使用该储存电容器的记忆阵列。
申请公布号 TW200627650 申请公布日期 2006.08.01
申请号 TW094141582 申请日期 2005.11.25
申请人 亿恒科技股份公司 发明人 罗尔夫 魏斯
分类号 H01L29/92;H01L21/8242 主分类号 H01L29/92
代理机构 代理人 蔡清福
主权项
地址 德国