发明名称 |
LASER ANNEAL METHOD FOR A SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20060086788(A) |
申请公布日期 |
2006.08.01 |
申请号 |
KR20050014927 |
申请日期 |
2005.02.23 |
申请人 |
SANYO ELECTRIC CO., LTD. |
发明人 |
WAKITA KEN;OGATA HIDENORI |
分类号 |
G02F1/136;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786 |
主分类号 |
G02F1/136 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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