发明名称 TEST ELEMENT GROUP STRUCTURES HAVING 3 DIMENSIONAL SRAM CELL TRANSISTORS
摘要
申请公布号 KR20060086756(A) 申请公布日期 2006.08.01
申请号 KR20050007740 申请日期 2005.01.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LIM, BO TAK;SEO, JONG SOO
分类号 H01L27/11 主分类号 H01L27/11
代理机构 代理人
主权项
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