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发明名称 ELECTRON BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060086860(A) 申请公布日期 2006.08.01
申请号 KR20060007596 申请日期 2006.01.25
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 IBA JUN;OHASHI YASUO;AZUMA HISANOBU;HACHISU TAKAHIRO;TAKAHASHI MASANORI
分类号 H01J31/12;H01J1/30 主分类号 H01J31/12
代理机构 代理人
主权项
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