发明名称 HIGH PRESSURE PLASMA DISCHARGE DEVICE
摘要
申请公布号 KR100606451(B1) 申请公布日期 2006.08.01
申请号 KR20040044688 申请日期 2004.06.16
申请人 发明人
分类号 H05H1/26;C23C16/00;C23C16/26;C23C16/503;G02F1/1337;H01J37/32 主分类号 H05H1/26
代理机构 代理人
主权项
地址