METHODS FOR CLEANING A SET OF STRUCTURES COMPRISING YTTRIUM OXIDE IN A PLASMA PROCESSING SYSTEM,申请号IL20060174378-传众专利搜索

发明名称	METHODS FOR CLEANING A SET OF STRUCTURES COMPRISING YTTRIUM OXIDE IN A PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号	IL174378(D0)	申请公布日期	2006.08.01
申请号	IL20060174378	申请日期	2006.03.16
申请人		发明人
分类号	B08B3/00;B08B6/00;B08B7/00;B08B9/00;B44C;B44C1/22;C23G1/00;C23G1/02;H01L	主分类号	B08B3/00
代理机构		代理人
主权项
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