发明名称 A METHOD FOR FORMING A METAL LINE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100607323(B1) 申请公布日期 2006.08.01
申请号 KR20040054062 申请日期 2004.07.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址