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发明名称 METHOD FOR FORMING FINE PATTERNS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060086611(A) 申请公布日期 2006.08.01
申请号 KR20050007467 申请日期 2005.01.27
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, SEO MIN
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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