发明名称 AN APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING VARIATION OF PRESSURE IN A BAKE UNIT USED TO BAKE WAFER
摘要
申请公布号 KR20060086107(A) 申请公布日期 2006.07.31
申请号 KR20050007006 申请日期 2005.01.26
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 SEONG, IK JOONG
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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