发明名称 Silicon on Insulator Substrate, Manufacturing Method Thereof, and Floating Structure Manufacturing Method using the same
摘要
申请公布号 KR100605368(B1) 申请公布日期 2006.07.28
申请号 KR20040083855 申请日期 2004.10.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L27/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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