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Bei einem Verfahren zum Bestimmen einer Raumkoordinate eines Messpunktes wird der Messpunkt mit einem Tastkopf angefahren (66), der an einer Verschiebemechanik mit zumindest zwei Auflagern angeordnet ist. Es wird eine Istdifferenz zwischen den Verschiebepositionen eines ersten und eines zweiten Auflagers bestimmt (72). Unter Verwendung dieser Istdifferenz wird die Raumkoordinate des Messpunktes bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird dabei ein statischer Differenzwert bereitgestellt und von der Istdifferenz subtrahiert, um einen dynamischen Differenzwert zu erhalten (74), und die Bestimmung der Raumkoordinate erfolgt unter Verwendung des dynamischen Differenzwertes (76, 82).
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