| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Kondensators mit Tantalpentoxid in einem integrierten Schaltkreis |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60023573(T2) |
申请公布日期 |
2006.07.27 |
| 申请号 |
DE20006023573T |
申请日期 |
2000.01.06 |
| 申请人 |
LUCENT TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
ALERS, GLENN B.;ROY, PRADIP KUMAR |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L27/04;C23C16/40;C23C16/56;H01L21/02;H01L21/3105;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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