Mikromechanisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements,申请号DE20015010147-传众专利搜索

发明名称	Mikromechanisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
摘要
申请公布号	DE50110147(D1)	申请公布日期	2006.07.27
申请号	DE20015010147	申请日期	2001.10.27
申请人	ROBERT BOSCH GMBH	发明人	FISCHER, FRANK;HEIN, PETER, DR.;GRAF, ECKHARD
分类号	B81B3/00;B81C99/00;B81B7/00;B81C1/00;B81C3/00	主分类号	B81B3/00
代理机构		代理人
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