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经营范围
发明名称
GAS SUPPLY BOX OF SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AND METHOD FOR PURGING GAS LINE
摘要
申请公布号
KR20060085459(A)
申请公布日期
2006.07.27
申请号
KR20050006337
申请日期
2005.01.24
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, SUN IL
分类号
H01L21/205;H01L21/02
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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