Synthetisches Kieselglas mit hoher Transmission und Verfahren zu seiner Herstellung

摘要

Offenbart ist hochreines synthetisches Siliciumglasmaterial mit einer internen Transmission bei 193 nm von mindestens 99,65%/cm und ein Verfahren zur Herstellung dieses Materials. Das Material ist ferner durch eine hohe Zusammensetzungshomogenität in einer Ebene quer zur beabsichtigten optischen Achse gekennzeichnet. Das Ruß-Glas-Verfahren zur Herstellung des Materials umfasst einen Schritt der Verfestigung der Rußvorform in Gegenwart von H¶2¶O und/oder O¶2¶.