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发明名称 APPARATUS FOR FORMING A LAYER
摘要
申请公布号 KR20060085358(A) 申请公布日期 2006.07.27
申请号 KR20050006172 申请日期 2005.01.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HONG, HYUNG SIK;CHAE, SEUNG KI;WON, JAI HYUNG;KEUM, GYEONG SU;HA, TAE HONG
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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