发明名称 Verfahren zur Kalibrierung von Modellparametern in der Lithographie-Simulation
摘要
申请公布号 DE10340436(B4) 申请公布日期 2006.07.27
申请号 DE20031040436 申请日期 2003.09.02
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KUECHLER, BERND;ROESIGER, MARTIN
分类号 G03F7/20;G05B17/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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