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经营范围
发明名称
Verfahren zur Kalibrierung von Modellparametern in der Lithographie-Simulation
摘要
申请公布号
DE10340436(B4)
申请公布日期
2006.07.27
申请号
DE20031040436
申请日期
2003.09.02
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
KUECHLER, BERND;ROESIGER, MARTIN
分类号
G03F7/20;G05B17/00
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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