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经营范围
发明名称
Schichtstruktur mit Kontaktöffnung und Verfahren zur Herstellung derselben
摘要
申请公布号
DE69133534(D1)
申请公布日期
2006.07.27
申请号
DE1991633534
申请日期
1991.03.06
申请人
FUJITSU LTD., KAWASAKI
发明人
EMA, TAIJI
分类号
H01L21/033;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108
主分类号
H01L21/033
代理机构
代理人
主权项
地址
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