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发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS FOR PREVENTING FROM CONFUSING INSTALLING POSITIONS OF INJECTORS
摘要
申请公布号
KR20060085483(A)
申请公布日期
2006.07.27
申请号
KR20050006374
申请日期
2005.01.24
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
LEE, BYOUNG OK
分类号
H01L21/205;H01L21/02
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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