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发明名称 Verfahren zur Härtung von Oberflächen eines Substrats
摘要
申请公布号 DE60024445(T2) 申请公布日期 2006.07.27
申请号 DE20006024445T 申请日期 2000.09.04
申请人 CAFI CENTRE D'ANALYSES PAR FAISCEAU IONIQUE 发明人 JACCARD, SAMUEL;MIKHAILOV, SERGUEI
分类号 C23C14/12;C23C14/02;C23C14/32 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
主权项
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