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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Anordnen von Substraten und Prozessiereinrichtung für Substrate
摘要
申请公布号 DE10041790(B4) 申请公布日期 2006.07.27
申请号 DE2000141790 申请日期 2000.08.25
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 KOGUCHI, AKIRA
分类号 B65G49/07;H01L21/68;H01L21/00;H01L21/67;H01L21/677 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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