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发明名称 PLATE ASSEMBLY FOR SUPPORTING A SUBSTRATE AND APPARATUS FOR COOLING A SUBSTRATE HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060085360(A) 申请公布日期 2006.07.27
申请号 KR20050006174 申请日期 2005.01.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHA, KIL SEOK;JEON, SEONG EOK;CHOI, YOUNG JIN;SEOL, HYUN SU
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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