发明名称 Method for dry cleaning dust soiled objects for carrying and keeping semi-conductor wafers
摘要
申请公布号 EP0813230(B1) 申请公布日期 2006.07.26
申请号 EP19970109257 申请日期 1997.06.07
申请人 MICRONAS SEMICONDUCTOR HOLDING AG 发明人 STROH, RUEDIGER JOACHIM, DIPL.-ING.;SCHWEINOCH, BOZENKA;TREFZER, MARTIN;THOMAS, UWE;ALLMANN, ERICH;COAD, CRAID
分类号 H01L21/00;B08B5/02;B08B9/08;B08B9/34 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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