成膜设备和喷头清洁方法以及设备制造系统

摘要

一种在灵活适应所制造产品的规格的变化的同时用于可靠地清洁每一喷头喷嘴表面的系统和方法。成膜设备具有多个用于喷射液滴的喷头，每一个喷嘴表面上具有一个喷嘴；及用于集中清洁喷嘴表面的共用的喷头清洁机构，以便喷头清洁机构基本上不会受到喷头之间间距的变化(或类似特性变化)的影响。通常，喷头清洁机构具有用于擦拭喷嘴表面的拭纸；用于向喷嘴表面提供拭纸的供给单元；及在由供给单元供给拭纸的同时将拭纸压在喷嘴表面上的滚筒，以便总是为每一喷嘴表面提供未使用的清洁面。

主权项

1.一种成膜设备，包括：多个用于喷射液滴的喷头，每一喷头在喷嘴表面上有一喷嘴；和用于集中清洁喷头的喷嘴表面的喷头清洁机构；所述喷头清洁机构包括：用于擦拭喷嘴表面的拭纸；用于向喷嘴表面输送拭纸的拭纸供给单元；和用于在拭纸供给单元输送拭纸的同时将拭纸压在喷嘴表面上的滚筒；其特征在于当试纸被压向喷嘴表面时，滚筒从远离每个喷头的位置向喷嘴表面下的位置移动，并通过试纸被推到喷嘴表面上。