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发明名称 Method for forming contact in semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100604757(B1) 申请公布日期 2006.07.26
申请号 KR19990068042 申请日期 1999.12.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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