发明名称 SHOWER HEAD OF SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060084897(A) 申请公布日期 2006.07.26
申请号 KR20050005637 申请日期 2005.01.21
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, JU HWAN
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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