发明名称 NEGATIVE RESIST COMPOSITION AND PATTERNING PROCESS
摘要
申请公布号 KR20060085199(A) 申请公布日期 2006.07.26
申请号 KR20060006222 申请日期 2006.01.20
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 KOITABASHI RYUJI;WATANABE TAMOTSU;TAKEDA TAKANOBU;WATANABANE SATOSHI
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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