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发明名称 LINE EDGE ROUGHNESS REDUCTION FOR TRENCH ETCH
摘要
申请公布号 EP1683194(A2) 申请公布日期 2006.07.26
申请号 EP20040810317 申请日期 2004.11.03
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 WAGGANER, ERIC;ZHU, HELEN, H.;LE, DANIEL;LOEWENHARDT, PETER
分类号 H01L21/4763;H01L;H01L21/311;H01L21/768 主分类号 H01L21/4763
代理机构 代理人
主权项
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