| 发明名称 | 含有金刚烷基烷基乙烯醚的光敏聚合物及含有该聚合物的光阻剂组合物 | ||
| 摘要 | 一种包括含有金刚烷基烷基乙烯醚共聚物的光敏聚合物，及含有该光敏聚合物的光阻剂组合物。例如包括具有如下通式共聚物的光敏聚合物，其中x为1～4的整数，R<SUB>1</SUB>为氢原子或甲基，R<SUB>2</SUB>为酸不稳定的C<SUB>4</SUB>～C<SUB>20</SUB>的烃基，p/(p+q+r)＝0.1～0.4，q/(p+q+r)＝0.1～0.5，及r/(p+q+r)＝0.1～0.4。 | ||
| 申请公布号 | CN1808272A | 申请公布日期 | 2006.07.26 |
| 申请号 | CN200610005755.6 | 申请日期 | 2003.06.19 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 崔相俊 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01);C08F220/10(2006.01);C08F216/16(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 郭国清;樊卫民 |
| 主权项 | 1.一种包括具有如下通式共聚物的光敏聚合物：<img file="A2006100057550002C1.GIF" wi="735" he="461" />其中x为1～4的整数，R<sub>3</sub>为氢原子或羟基、羧基、卤素、腈、烷基、烷氧基、磺酸酯，或为酸不稳定的C<sub>4</sub>～C<sub>20</sub>的酯基，p/(p+q+s)＝0.1～0.4，q/(p+q+s)＝0.3～0.5，及s/(p+q+s)＝0.2～0.5。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||