发明名称 | 低压处理机台的维护方法及其输送装置 | ||
摘要 | 一种低压处理机台的维护方法及其输送装置。该输送装置包括一第一气压致动器、一第二气压致动器、第一滑动组件、第二滑动组件、一支撑结构以及连结组件。第一滑动组件设于第一气压致动器之上;第二滑动组件设于第二气压致动器之上;支撑结构设于第一气压致动器与第二气压致动器之间;连结组件设于支撑结构之上。应用本发明的输送装置,可将低压处理机台的壳体从基座拆卸及移动以进行清洁。因此,可以在原壳体(第一壳体)拆卸之后,直接以另一壳体(第二壳体)替换安装至基座之上,而继续低压处理机台的运作,藉此可缩短低压处理机台的停机时间,避免产能的损失以及时间与金钱的浪费。 | ||
申请公布号 | CN1808283A | 申请公布日期 | 2006.07.26 |
申请号 | CN200610007764.9 | 申请日期 | 2006.02.20 |
申请人 | 广辉电子股份有限公司 | 发明人 | 黄庭辉 |
分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 任默闻 |
主权项 | 1.一种输送装置,用以输送一低压处理机台的一壳体,其特征在于,所述输送装置包括:一第一气压致动器;一第二气压致动器;至少一第一滑动组件,设于第一气压致动器之上;至少一第二滑动组件,设于第二气压致动器之上;一支撑结构,设于第一气压致动器与第二气压致动器之间;以及至少一连结组件,设于支撑结构之上,用以连接所述壳体。 | ||
地址 | 台湾省桃园县 |