发明名称 低压处理机台的维护方法及其输送装置
摘要 一种低压处理机台的维护方法及其输送装置。该输送装置包括一第一气压致动器、一第二气压致动器、第一滑动组件、第二滑动组件、一支撑结构以及连结组件。第一滑动组件设于第一气压致动器之上;第二滑动组件设于第二气压致动器之上;支撑结构设于第一气压致动器与第二气压致动器之间;连结组件设于支撑结构之上。应用本发明的输送装置,可将低压处理机台的壳体从基座拆卸及移动以进行清洁。因此,可以在原壳体(第一壳体)拆卸之后,直接以另一壳体(第二壳体)替换安装至基座之上,而继续低压处理机台的运作,藉此可缩短低压处理机台的停机时间,避免产能的损失以及时间与金钱的浪费。
申请公布号 CN1808283A 申请公布日期 2006.07.26
申请号 CN200610007764.9 申请日期 2006.02.20
申请人 广辉电子股份有限公司 发明人 黄庭辉
分类号 G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 任默闻
主权项 1.一种输送装置,用以输送一低压处理机台的一壳体,其特征在于,所述输送装置包括:一第一气压致动器;一第二气压致动器;至少一第一滑动组件,设于第一气压致动器之上;至少一第二滑动组件,设于第二气压致动器之上;一支撑结构,设于第一气压致动器与第二气压致动器之间;以及至少一连结组件,设于支撑结构之上,用以连接所述壳体。
地址 台湾省桃园县