发明名称 光学测斜仪
摘要 本发明涉及一种光学测斜仪。根据本发明,诸如液体表面的取决于倾斜度的介质(6)定位在光学子系统的光瞳中,可检测的波前通过所述介质(6)在检测器(3’)上成像。所述介质(6)引起从辐射源(11)发射的辐射(S)的相移;辐射(S)与介质(6)进行反射或透射相互作用。可以通过波前探测器来分析介质(6)引起的波前的偏差并通过评估单元(9’)或检测器(3’)对其进行补偿。在各子孔径之前形成有衍射结构的波前探测器是紧凑的,并且提高了测斜仪的分辨率和可检测角度范围。
申请公布号 CN1809726A 申请公布日期 2006.07.26
申请号 CN200480017565.5 申请日期 2004.06.01
申请人 莱卡地球系统公开股份有限公司 发明人 伯恩哈德·布劳内克;彼得·基佩弗
分类号 G01C9/20(2006.01);G01C9/06(2006.01);G02B26/06(2006.01) 主分类号 G01C9/20(2006.01)
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 李辉
主权项 1、一种光学测斜仪,包括: ·用于产生辐射(S)的辐射源(11,11’,11”),特别是半导体激 光器或发光二极管; ·介质(6,6’),其光学界面取决于倾斜度; ·检测器(3’,3”,3),优选地具有CMOS或CCD微摄像装置, 用于接收像并将其转换为信号;以及 ·用于确定倾斜度的评估单元(9’,9”,9); 其中辐射源(11,11’,11”)和检测器(3’,3”,3)被设置为使 得波前(WF2,WF3,WF4)至少通过介质(6,6’)的一部分间接或直 接地反射和/或透射到检测器(3’,3”,3)上成像; 其特征在于,检测器(3’,3”,3)具有波前探测器或者检测器(3’, 3”,3)由波前探测器构成。
地址 瑞士海尔博瑞格