发明名称 Lithographic apparatus, illumination system and debris trapping system
摘要
申请公布号 SG123763(A1) 申请公布日期 2006.07.26
申请号 SG20050008365 申请日期 2005.12.23
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 BAKKER LEVINUS PIETER;KLUNDER DERK JAN WILFRED;HERPEN VAN, MAARTEN MARINUS JOHANNES WILHELMUS
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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