可用在超高纯和高腐蚀性环境中的传感器

摘要

本发明的电插头引线结构和铜焊技术提供一种传感器中的铜焊引线，其很好的粘附在半导体基片上，有助于横向弯曲性而不存在接头软化或破损。在一个实施例中，该插头引线包括线圈头，利用银－铜－钯铜焊材料将该线圈头铜焊在蓝宝石基片上的硅层上。该方法的一个优点是在单个处理步骤中，能将该插头引线铜焊在膜片上，并且将该隔板密封到具有高温玻璃的陶瓷后板上。而且，在铜焊成分中的钯是在冷却以避免基片中的应力断裂期间降低该金属引线和半导体基片之间的表面张力的因素。

主权项

1.一种具有无孔外表面的传感器，所述传感器包括：包括延伸贯穿的孔的背衬板；膜片；设置在该膜片的内表面之上的检测元件；至少一个电引线，延伸穿过至少一个孔，并连接膜片上的检测元件，该电引线具有适用于在该膜片的内表面上铜焊的线圈头，该膜片具有高温铜焊成分；和玻璃层，用于通过玻璃化粘合该背衬板和该膜片，该玻璃层具有高粘合强度和在700℃和700℃之上的高熔融温度，其中该玻璃层将背衬板粘合到膜片上，并且该线圈头铜焊到该检测元件上。