透明导电性基板及其制造方法、和光电转换元件

摘要

本发明提供一种透明导电性基板，包括透明的基底、和在该基底上形成的导电性的金属氧化物膜，该金属氧化物膜含有锡和氟，在采用SIMS对该金属氧化物膜测定的深度方向分布图中，从氟的灵敏度相对于锡的灵敏度的比的最大值Imax中减去最小值Imin后得到的值为0.15以上，Imax比1大，Imin比1小，且显示Imax的位置比显示Imin的位置更靠近金属氧化物膜的表面。由此，本发明提供一种以良好的平衡性改善透光性和导电性的透明导电性基板。

主权项

1.一种透明导电性基板，包括透明的基底、和在所述基底上形成的导电性的金属氧化物膜，所述金属氧化物膜含有锡和氟，在采用SIMS对所述金属氧化物膜测定的深度方向分布图中，从所述氟的灵敏度相对于所述锡的灵敏度的比值的最大值Imax中减去最小值Imin后得到的值为0.15以上，所述Imax比1大，所述Imin比1小，且显示所述Imax的位置比显示所述Imin的位置更靠近所述金属氧化物膜的表面。