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发明名称 Apparatus for and method of cleaning objects to be processed
摘要
申请公布号 EP0833375(B1) 申请公布日期 2006.07.26
申请号 EP19970307511 申请日期 1997.09.25
申请人 TOKYO ELECTRON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KAMIKAWA, YUJI;NAKASHIMA, SATOSHI;UENO, KINYA
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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