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发明名称 Metal selective removal process
摘要
申请公布号 EP0585936(B1) 申请公布日期 2006.07.26
申请号 EP19930114132 申请日期 1993.09.03
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED;FSI INTERNATIONAL, INC. 发明人 SYVERSON, DANIEL J.;BOHANNON, BRYNNE K.
分类号 H01L21/027;H01L21/311;C23G1/02;G03F7/36;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3213 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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