| 主权项 |
1.一种用来测量一流体流率的流量感测系统(10),包 含: 一流通管道(12)系可容纳该流体而具有一纵向中心 轴(A);一单片基板(18)设有多数轨径(30),各轨径可传 导一信号,该基板系被设在该管道内;多数的转换 器(20)设在该管道内之基板上,而可藉修正有关该 流体流动的信号来反应其流量,该等转换器系被设 成至少有一转换器会比至少另一转换器更靠近于 该中心轴;及一信号处理器(52)导接于至少二前述 之信号,而可算出该流体的流率其系为该至少二信 号的函数。 2.如申请专利范围第1项之流量感测系统,其中该信 号处理器(52)更被制成可依据设在基板上之各转换 器的差动散热效应来决定流体之流动方向。 3.如申请专利范围第1项之流量感测系统,其中该基 板包含一平面(24),且至少有一转换器(20)被设在该 平面上,而该基板系使该平面平行于管道中心轴地 设在该管道内。 4.如申请专利范围第1项之流量感测系统,更包含一 参考转换器(20)设在该基板(18)上,该参考转换器系 位于该管道(12)内十分靠近于该管道的侧壁(14)处, 故该参考转换器会产生一几乎未被该流体所修正 的信号。 5.如申请专利范围第1项之流量感测系统,其中该基 板(18)包含一平面(24),且至少有一转换器(20)被设在 该平面上,而该基板系使该平面垂直于管道中心轴 地设在该管道内。 6.一种可检测一流体流量的热流量感测器,包含:一 基板(18)含有一互接物(30)可传送一代表流体流量 的信号,该基板更包含一腔穴(32)形成一开放空间( 34),一第一感热元件(36)设在该基板上并连接于该 互接物,该元件包含至少一部份(38)邻近于该腔穴, 且该部份能与该开放空间导通流体,而该元件系连 接于该互接物,并能回应该流体来修正该信号。 7.如申请专利范围第6项之热流量感测器,其中该基 板(18)具有一第一面(24)及一相反的第二面(26),且该 腔穴(32)系由第一面穿过第二面来形成。 8.如申请专利范围第6项之热流量感测器,更包含多 数附加的感热元件(36)等设在该基板(18)上,该第一 与附加的感热元件等会呈一栅状图案来排列。 9.一种用来计算一流体流率的热流量感测系统(10), 包含:一流通管道(12)系可容纳该流体,而具有一纵 向中心轴(A);多数的装置可测量该流体内的温度, 该等测温装置被设在该管道内,而至少有一该装置 会比至少另一装置更靠近该管道的轴心,且各该装 置会产生一代表该装置温度的信号;一信号处理器 (52)连接于该等测温装置,而可接收该等信号,并由 该等信号计算出该流体的流率。 10.一种在一基板上造成一热检测器阵列的方法,包 含以下步骤:在该基板上设置多数的感温元件(36), 并形成多数的导电信号轨径(30)连接于该等感温元 件;及在该基板上制成多数的腔穴(32),各腔穴会在 该基板中形成一开空间(34)邻近至少一该等感温元 件,且各感温元件会包含一部份(38)悬伸跨越该开 放空间。 图式简单说明: 第1图为本发明一实施例之流体管道的截面图,其 具有一流量感测系统包含一检测器/转换器阵列设 在一基板的表面上,该基板系平行于该管道内的流 体流动方向。 第2图为第1图中之检测器/转换器阵列的放大图。 第3图为第1图中之检测器/转换器阵列的截面图,示 出一感热元件设在一单片基板上。 第4图为本发明另一实施例之检测器/转换器阵列 的截面图。 第5图为本发明又另一实施例之流体管道的截面图 ,其具有一流量感测系统包含一检测器/转换器阵 列设在一基板的表面上,该基板系垂直于该管道内 的流体流动方向。 第6图为第5图中之检测器/转换器阵列的放大图。 第7图为一方块图示出一检测器/转换器阵列,一可 提供加热及感测电力至该检测器/转换器阵列的控 制电路,及一可处理该检测器/转换器阵列之信号 来计算流体流量率的信号处理器等之间的关联性 。 |
