晶圆载具门及二位置弹簧加载锁存机构

摘要

一种晶圆容器，具有设有至少一锁存机构之门，其中锁存机构具有弹簧构件，该弹簧构件在较佳为相对应于锁存开启与锁存关闭状况之一或更多有效位置处固持锁存机构。在一较佳具体例中，弹簧构件具有超过中心状况，推进锁存机构朝向有效位置，因而阻止锁存机构之非故意的启动。此外，在较佳具体例中，锁存机构在锁存开启或锁存关闭状况处具有软性止块，将锁存机构之突然地快速进入定位情况减至最少。较佳具体例应用具有至少一交点的伸长坚硬塑胶构件之被配置为凸轮构件的可旋转构件，形成一塑胶弹簧。弹簧系枢转地被装配在可旋转构件上，且枢转地被装配至门结构。

主权项

1.一种供晶圆容器用之门,包括: 门底盘; 至少一在门底盘上的锁存机构,该锁存机构具有至 少一旋转启动构件;及 至少一与门底盘联结之第一弹簧构件,该弹簧构件 适用以结合旋转启动构件,且被装设使得固持旋转 启动构件在第一有效位置处,该弹簧构件适用以推 进该旋转启动构件朝向第一有效位置,且经过近接 于第一有效位置的至少5度之该旋转启动构件的第 一旋转范围。 2.如申请专利范围第1项之门,其中当该旋转启动构 件系于第一有效位置处时,该弹簧构件被中性地加 载。 3.如申请专利范围第1项之门,其中该弹簧构件亦被 装设以固持旋转启动构件在第二有效位置处,且适 用以推进该旋转启动构件朝向第二有效位置,且经 过近接于第二有效位置的至少5度之该旋转启动构 件的第二旋转范围。 4.如申请专利范围第3项之门,其中当该旋转启动构 件系于第二有效位置处时,该弹簧构件被中性地加 载。 5.如申请专利范围第1项之门,其中该弹簧构件具有 弧形形状。 6.如申请专利范围第1项之门,其中该弹簧构件具有 S型形状。 7.如申请专利范围第1项之门,其中该弹簧构件系一 线圈弹簧。 8.如申请专利范围第1项之门,其中该弹簧构件系一 扭力弹簧。 9.一种供晶圆容器用之门,包括: 门底盘,具有至少一第一弹簧支枢; 至少一在门底盘上的锁存机构,该锁存机构具有至 少一旋转启动构件,旋转启动构件具有支枢;及 至少一第一弹簧构件,该弹簧构件可操作地联结至 该门底盘的弹簧支枢及旋转启动构件的支枢,该弹 簧构件被装设使得固持旋转启动构件在第一有效 位置处,且适用以推进该旋转启动构件朝向第一有 效位置,并经过近接于第一有效位置的至少5度之 该旋转启动构件的第一旋转范围。 10.如申请专利范围第9项之门,其中当该旋转启动 构件系于第二有效位置处时,该弹簧构件被中性地 加载。 11.如申请专利范围第9项之门,其中该弹簧构件亦 被装设以固持旋转启动构件在第二有效位置处,且 适用以推进该旋转启动构件朝向第二有效位置,并 经过近接于第二有效位置的至少5度之该旋转启动 构件的第二旋转范围。 12如申请专利范围第10项之门,其中当该旋转启动 构件系于第二有效位置处时,该弹簧构件被中性地 加载。 13.如申请专利范围第11项之门,其中进一步包括第 二弹簧构件,被枢转地联结至门底盘的弹簧支枢及 旋转启动构件的支枢。 14.如申请专利范围第9项之门,其中该弹簧构件具 有弧形形状。 15.如申请专利范围第9项之门,其中该弹簧构件具 有S型形状。 16.如申请专利范围第9项之门,其中该弹簧构件系 一线圈弹簧。 17.一种供晶圆容器用之门,包括: 门底盘,具有至少一第一弹簧支枢; 至少一在门底盘上的锁存机构,该锁存机构具有至 少一锁存臂,该锁存臂具有一中心支枢;及 至少一第一弹簧构件,该弹簧构件枢转地联结至该 门底盘的弹簧支枢及该锁存臂的中心支枢,该弹簧 构件被装设使得固持旋转启动构件在第一有效位 置处,且适用以推进该锁存臂朝向第一有效位置, 并经过近接于第一有效位置的至少10%之该锁存臂 的纵向行程范围。 18.如申请专利范围第17项之门,其中该弹簧构件亦 被装设以固持锁存臂在第二有效位置处,且该弹簧 构件适用以推进该锁存臂朝向第二有效位置,并经 过近接于第二有效位置的至少10%之该锁存臂的纵 向行程范围。 19.如申请专利范围第17项之门,其中该门底盘具有 第二弹簧支枢,且该弹簧构件亦枢转地联结至第二 弹簧支枢。 20.一种供晶圆容器用之门,包括: 门底盘; 至少一在门底盘上之锁存机构,该锁存机构具有旋 转启动构件; 用以提供该锁存机构设有至少一第一有效位置的 机构;及 弹簧机构,用以推进该锁存机构朝向第一有效位置 ,且经过近接于第一有效位置的至少5度之旋转启 动构件的旋转范围。 21.如申请专利范围第20项之门,其中用以提供该锁 存机构至少一第一有效位置的该机构,及包括至少 一第一弹簧构件的该弹簧机构,该弹簧构件联结旋 转启动构件与该门底盘。 22.如申请专利范围第21项之门,其中该弹簧构件亦 被装设以固持旋转启动构件在第二有效位置处,且 适用以推进该旋转启动构件朝向第二有效位置,并 经过近接于第二有效位置的至少5度之该旋转启动 构件的第二旋转范围。 23.如申请专利范围第20项之门,其中进一步包括: 用以提供该锁存机构设有第二有效位置之机构;及 弹簧机构,用以推进该锁存机构朝向第二有效位置 ,且经过近接于第二有效位置的至少5度之旋转启 动构件的旋转范围。 24.如申请专利范围第23项之门,其中用以提供该锁 存机构至少一第一有效位置的该机构,用以提供该 锁存机构至少一第二有效位置的该机构,用以推进 该锁存机构朝向第一有效位置的该弹簧机构,及用 以推进该锁存机构朝向第二有效位置的该弹簧机 构,包括至少一第一弹簧构件,该弹簧构件联结旋 转启动构件与该门底盘。 25.一种供晶圆容器用之门,包括: 门底盘; 至少一在门底盘上之锁存机构,该锁存机构具有至 少一锁存臂;及 用以固持该锁存臂在第一有效位置处,且用以推进 该锁存臂朝向第一有效位置的弹簧机构,该弹簧机 构提供有效率的推进力经过近接于第一有效位置 的至少10%之该锁存臂的纵向行程范围。 26.如申请专利范围第25项之门,其中该门底盘具有 至少一第一弹簧支枢,该弹簧机构包括至少一具有 中心支枢的第一弹簧构件,且该弹簧构件系枢转地 联结至该门底盘的第一弹簧支枢及该锁存臂的中 心支枢。 27.如申请专利范围第26项之门,其中该门底盘具有 第二弹簧支枢,且该弹簧构件亦枢转地联结至第二 弹簧支枢。 28.如申请专利范围第25项之门,其中该弹簧机构亦 固持该锁存臂在第二有效位置处,且推进该锁存臂 朝向第二有效位置,并经过近接于第二有效位置的 至少10%之该锁存臂的纵向行程范围。 29.一种供晶圆容器用之门,包括: 门底盘,具有至少一第一弹簧支枢; 至少一在门底盘上的锁存机构,包括: 多数之锁存臂; 旋转启动构件,可操作地联结该多数之锁存臂;及 至少一弹簧构件,适用于且被装设使得推进该至少 一锁存臂朝向第一有效位置,且经过近接于第一有 效位置的至少5度该旋转启动构件之第一旋转范围 。 图式简单说明: 图1系晶圆载具之立体图,设有在一件处理设备上 之机器交界面; 图2系晶圆载具门之立体图,显露出锁存组件; 图3系锁存组件之局部立体图; 图4系锁存组件之较佳具体例的平面图,显示该锁 存组件系于开启位置中; 图5系图4之具体例的平面图,显示该锁存组件系于 关闭位置中; 图6系锁存组件之可选择具体例的局部平面图; 图7系锁存组件之另一可选择具体例的局部平面图 ; 图8系锁存组件之再一可选择具体例的局部平面图 ; 图9系锁存组存之另一具体例的平面图,显示该锁 存组件系于开启位置中; 图10系图9之具体例的平面图,显示该锁存组件系于 关闭位置中; 图11系锁存组件之另一可选择具体例的平面图,显 示该锁存组件在开启位置中; 图12系图11之具体例的平面图,显示该锁存组件系 于关闭位置中;及 图13系图11与12之锁存组件的可选择具体例的局部 图。