乙烯苯基丙酸衍生物、其制造方法、其聚合物以及感应放射线性树脂组成物

摘要

本发明系有关乙烯苯基丙酸衍生物、其制造方法。该新颖衍生物之聚合物系适用于对放射线之吸收极少，特别是化学增幅型光阻之感应放射线性树脂组成物中有用之树脂成分。含该聚合物之感应放射线性树脂组成物乃系作为于微细尺寸之图案中可确保其方形性，同时对各种放射线具有高感度(低曝光能量)，而且亦无因PED之变动而使图形发生线宽变化成为T形之现象，并且解像性能优越之化学增幅型光阻。例如，4-乙烯苯基丙酸第3丁酯之制造，系使溴乙酸第三丁酯与正丁基膦反应，使生成之对应四级鏻与硷反应而生成对应之磷内，使该磷内与2，4，6-参(3′，5′-二-第三丁基-4′-羟基苯甲基)甲基苯乙烯反应，再将所得之对应四级鏻盐加水分解而得。又，感应放射线性树脂组成物系含有包括此类乙烯苯基丙酸酯聚合单位之聚合物与感应放射线性酸发生剂者。

主权项

1.一种下列式(1)所示之乙烯苯基丙酸衍生物, (式中,R1、R2及R3示氢原子,Z1系三级丁基、四氢 喃基、乙基或十六基)。 2.一种如申请专利范围第1项式(1)所示之乙烯苯基 丙酸衍生物之制造方法,其特征为: (i)使下列式(4-1)所示之乙酸酯: (式中,R3系氢原子,Z2系三级丁基、四氢喃基、乙 基或十六基,X1为脱离性基),与下列式(4-2)所示之三 烷基膦进行反应: (式中,R13、R14及R15可相同或相异,分别示可经取代 而碳数为1-8之烷基),而生成下列式(4-3)所示之第一 种四级鏻盐;