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发明名称 RADIATION EXPOSURE APPARATUS COMPRISING A GAS FLUSHING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20060083853(A) 申请公布日期 2006.07.21
申请号 KR20050118097 申请日期 2005.12.06
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 SIMON KLAUS;VAN DEN BRINK ENNO;KEIJSERS GERARDUS JOHANNES JOSEPH;VAN DIJK ADRIANUS HUBERTUS HENRICUS;BAIJENS HUBERTUS ANTONIUS MARINUS
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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