| 发明名称 |
CROISSANCE ORGANISEE DE NANO-STRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2864109(B1) |
申请公布日期 |
2006.07.21 |
| 申请号 |
FR20030051186 |
申请日期 |
2003.12.23 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
MAZEN FREDERIC;BARON THIERRY;DECOSSAS SEBASTIEN;SOUIFI ABDELKADER |
| 分类号 |
C23C16/02;B82B3/00;C23C16/04;C23C16/48;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/265;H01L31/0304;H01L31/0312 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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