发明名称 POLYMER FOR CHEMICALLY AMPLIFIED PHOTORESIST AND CHEMICALLY AMPLIFIED PHOTORESIST COMPOSITION INCLUDING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060083581(A) 申请公布日期 2006.07.21
申请号 KR20050004453 申请日期 2005.01.18
申请人 DONGJIN SEMICHEM CO., LTD. 发明人 OH, SEUNG KEUN;PARK, CHAN SIK;LEE, JAE WOO;KIM, JAE HYUN
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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