| 发明名称 |
KOMBINIERTE STRUKTUR MIT VERBESSERTER FäHIGKEIT ZUR SCHOCKAUFNAHME UND STRESS ISOLATION FüR EINEN VERBESSERTEN MIKROMECHANISCHEN SILIZIUM BESCHLEUNIGUNGSAUFNEHMER |
| 摘要 |
The present invention provides an acceleration sensor and an accelerometer having isolation structure formed using a bulk straight wall deep reactive ion etch process, whereby external stress sources are isolated from active accelerometer components. |
| 申请公布号 |
DE60028587(D1) |
申请公布日期 |
2006.07.20 |
| 申请号 |
DE2000628587 |
申请日期 |
2000.06.16 |
| 申请人 |
HONEYWELL INTERNATIONAL INC. |
发明人 |
LEONARDSON, RONALD;BLAKE, GRAEME |
| 分类号 |
G01P15/10;G01P1/00;G01P1/02;G01P15/08;G01P15/097 |
主分类号 |
G01P15/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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