发明名称 IMPROVED MICRO-ELECTRICAL-MECHANICAL VARIABLE CAPACITOR DEVICE AND METHOD OF MAKING SAME
摘要
申请公布号 CA2579572(A1) 申请公布日期 2006.07.20
申请号 CA20062579572 申请日期 2006.01.03
申请人 RAYTHEON COMPANY 发明人 TRAN, BRIAN H.;PARK, JOON;NAKAHIRA, RON K;ALLISON, ROBERT C.
分类号 H01G5/16;H01P1/18;H01P1/203 主分类号 H01G5/16
代理机构 代理人
主权项
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