Füllen von Löchern und Ähnlichem in Substraten,申请号DE19956034555T-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Füllen von Löchern und Ähnlichem in Substraten
摘要
申请公布号	DE69534555(T2)	申请公布日期	2006.07.20
申请号	DE19956034555T	申请日期	1995.07.04
申请人	TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED, NEWPORT	发明人	DOBSON, CHRISTOPHER DAVID;MCGEOWN, ARTHUR JOHN
分类号	H01L21/28;H01L21/768;H01L21/3205;H01L23/52;H05K3/40	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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