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发明名称 Verfahren zur Verkappung eines Bauelements mit einer Kavernenstruktur
摘要
申请公布号 DE50012895(D1) 申请公布日期 2006.07.20
申请号 DE2000512895 申请日期 2000.07.26
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 ARTMANN, HANS;FREY, WILHELM, DR.;LAERMER, FRANZ, DR.
分类号 H01L23/10;B81B7/00 主分类号 H01L23/10
代理机构 代理人
主权项
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