发明名称 HARD CARBON FILM OF MODIFIED MECHANICAL AND ELECTRICAL PROPERTIES BY ARGON BACKGROUND GAS TREATMENT
摘要
申请公布号 KR20060083348(A) 申请公布日期 2006.07.20
申请号 KR20050003859 申请日期 2005.01.14
申请人 KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 KIM, TAE YOUNG;LEE, KWANG RYEOL;LEE, CHURL SEUNG
分类号 C01B31/02 主分类号 C01B31/02
代理机构 代理人
主权项
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