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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Charge-Trapping-Speicherzellen
摘要
申请公布号 DE102004052910(B4) 申请公布日期 2006.07.20
申请号 DE200410052910 申请日期 2004.11.02
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 VERHOEVEN, MARTIN
分类号 H01L21/8247 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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