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Ein Verfahren zur Herstelllung eines Drucksensors weist die Schritte auf von: Bereitstellen eines Halbleitersubstrats (21); Ausbilden eines Isolationsfilms (22) auf dem Substrat (21); Ausbilden eines ersten Metallfilms (23) auf dem Isolationsfilm (22); Ausbilden eines ersten Schutzfilms (25) auf dem ersten Metallfilm (23) und dem Isolationsfilm (22); Ausbilden eines zweiten Schutzfilms (26) auf dem ersten Metallfilm (22) und dem ersten Schutzfilm (25); Durchführung einer Behandlung zur Verringerung einer Adhäsionskraft an dem zweiten Schutzfilm (26), wobei die Kraft zwischen dem zweiten Schutzfilm (26) und einem zweiten Metallfilm (24, 27-29) ist; Ausbilden des zweiten Metallfilms (24, 27-29) auf dem ersten Metallfilm (23) und dem ersten Schutzfilm (25) und Entfernen eines Teils des zweiten Metallfilms (24, 27-29). |
